AeroSurf1500臺式掃描電鏡
2016年，日立高新公司推出*臺大氣壓下掃描電子顯微鏡AeroSurf1500，其*的設(shè)計(jì)可在大氣壓下得到清晰的掃描電子圖像。
特點(diǎn)：
1、可在大氣壓（105Pa）下得到SEM圖像；
2、臺式掃描電鏡設(shè)計(jì)；
3、低真空下成分分析；
4、優(yōu)質(zhì)的圖像處理控制；
AeroSurf1500臺式掃描電鏡
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、食品檢測；
2、生物科技；
3、刑偵醫(yī)學(xué)；
4、醫(yī)藥檢測；
5、環(huán)境監(jiān)測。
* 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
* 從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
* 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
* 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
* 主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
* 無需等待抽真空時(shí)間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程
概要
大氣壓觀察（圖1）
低真空觀察（圖2）
圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時(shí) 圖2：低真空觀察時(shí)
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
| 電子槍 | 預(yù)對中燈絲 |
| 檢測系統(tǒng) | 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| 加速電壓 | 5 kV/15 kV |
| 倍率 | ×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時(shí)：×240,000） |
| 觀察壓力 | 大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔時(shí)） 負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時(shí)） 低真空模式（數(shù)Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時(shí)） |
| 大樣品尺寸 | 直徑55 mm |
| 大小和重量 | 主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動(dòng)操作臺） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺 |
（a）.樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
（b）.配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí)，可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
（c）.而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察
（a）.隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
（b）.搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
